硅镜超声加工声学系统设计*

作者：张云电,余芳 日期：2008-06-23/span> 浏览：4051 查看PDF文档

硅镜超声加工声学系统设计*

张云电,余芳
（杭州电子科技大学 机械工程学院，浙江 杭州 310018）

摘要：近年来，超声加工方法已经越来越多地应用于脆硬材料的加工，超声声学系统是功率超声设备的核心和关键所在，其设计的好坏直接影响到其应用的效果。在分析超声声学系统工作原理的基础上，给出了该声学系统的具体设计方案，并且专门针对硅镜超声加工声学系统进行了设计及实验。实验结果表明，所设计的声学系统性能比较稳定，换能器发热较少，效率较高。
关键词：硅镜；脆硬材料；超声加工；声学系统
中图分类号：TG663文献标识码：A文章编号：1001-4551(2008)06-0024-03

Design of an acoustics system for ultrasonic machining of Sic mirror
ZHANG Yun|dian, YU Fang
(College of Mechanical Engineering, Hangzhou Dianzi University, Hangzhou 310018, China)
Abstract: Ultrasonic machining is used widely in machining hard and brittle materials, the acoustic system is the key part of the power ultrasonic equipment, the quality of design influence application effect directly. The design method of the acoustic system was presented based on analyzing the working principle of acoustics system, and acoustics system for ultrasonic machining of Sic mirror was designed. The experimental results indicate that the designed acoustics system has stable performance and high efficiency.
Key words: Sic mirror; hard and brittle materials; ultrasonic machining; acoustic system
参考文献(Reference):
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