硅镜超声加工机进给压力的检测与控制系统*

作者：张云电,韩俊慧,陈炎,余芳 日期：2009-02-23/span> 浏览：3899 查看PDF文档

硅镜超声加工机进给压力的检测与控制系统*

张云电,韩俊慧,陈炎,余芳
（杭州电子科技大学 机械工程学院，浙江 杭州 310018）

摘要：超声加工是硅镜加工的有效加工方法，但是硅镜在加工中易出现裂纹和破碎。研究表明，工具对硅镜表面施加的压力不稳定是其中的一个重要原因。为了控制工具对硅镜表面施加压力的稳定性，采用压力传感器对硅镜表面施加的压力进行实时检测，并反馈给控制元件，一旦所检测到的压力超过所设定的额定压力值，控制元件就向执行元件发出执行指令，从而达到控制工具的目的。试验表明，该压力检测与控制系统可以有效地保证对硅镜表面所施加压力的稳定性，从而减少了硅镜在加工过程中出现破裂的情况。
关键词：硅镜；压力检测与控制系统；超声加工
中图分类号：TP271.4文献标识码：A文章编号：1001-4551(2009)01-0074-03

System of detecting and controlling feed force for ultrasonic machine of machining silicon mirror
ZHANG Yun-dian, HAN Jun-hui, CHEN Yan, YU Fang
(College of Mechanical Engineering, Hangzhou Dianzi University, Hangzhou 310018, China)
Abstract: Ultrasonic machining is an effective method in the process of machining silicon mirror. However, cracks would appear in the process. Research shows that the instability of pressure which imposed on the silicon mirror surface is one of important reasons. The pressure in the surface of the Sic mirror by sensor was detected, the signal to control component was delivered. Once, the detecting pressure exceeded the setting pressure, the control component delivered an executive directive to the implementation component. Thus, the implement could be controlled. And, the experiment shows that this system with detection and control of force is effective and will reduce cracks in machining Sic mirror.
Key words: Sic mirror; system with detection and control of force; ultrasonic machining
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