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二维光学自准直微角度传感器
作者：廉孟冬，金伟锋，居冰峰* 日期：2010-12-30/span> 浏览：3989 查看PDF文档
二维光学自准直微角度传感器
廉孟冬，金伟锋，居冰峰*
(浙江大学 流体传动及控制国家重点实验室,浙江 杭州 310027)
摘要：为实现表面微形貌测量以及精密平台的定位测量，设计了一种结构简单的小体积二维微角度传感器。该微角度传感器基于激光自准直原理，主要由作为光源的激光二极管、自准直光路和作为位置探测器的四象限光电二极管组成。分析计算发现，角度传感器的灵敏度与光路中物镜的焦距无关，因此选用了焦距较短的物镜，以实现小体积、高灵敏度的目的。四象限光电二极管具有二维位置探测能力，利用其作为光电转换装置，微角度传感器可以同时探测两轴角度变化值。实验结果表明，微角度传感器的体积可达到25×20×13 mm3，角度测量范围±1 200 arcsec，分辨率为0.1 arcsec。实验中利用激光自准直仪进行对照，有效验证了这种新型二维光学自准直微角度传感器的可行性。
关键词：微角度传感器；自准直；测量；二维
中图分类号：TH741.2；TP212.14文献标志码：A文章编号：1001-4551(2010)12-0023-04
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