数字式测高仪定位误差的测量及补偿*

作者：陈洪芳，林虎，殷建杰 日期：2011-05-09/span> 浏览：3221 查看PDF文档

数字式测高仪定位误差的测量及补偿*
陈洪芳，林虎，殷建杰
（北京工业大学 机械工程及应用电子技术学院，北京 100124）

摘要：定位误差是测高仪的主要误差源之一，为了提高测高仪的测量精度，研究了数字式测高仪定位误差的测量及补偿方法。以某公司生产的数字式测高仪为研究对象，以德国SIOS公司微型双平面镜干涉仪SPD为高精度的标准量，实现了数字式测高仪定位误差的测量。采用二次多项式拟合的方法对测量数据进行曲线拟合，拟合前后的测量数据差值作为校正定位误差的偏差值，从而实现定位误差的补偿。实验结果表明，当测高仪滑座向上移动时，定位误差由0.009 3 mm减小到补偿后的0.004 6 mm，测高仪滑座向下移动时，定位误差由0.010 7 mm减小到补偿后的0.004 8 mm。
关键词：测高仪；定位误差；激光干涉仪
中图分类号：TH816；TN711文献标志码：A文章编号：1001-4551(2011)02-0141-03

本文的文献著录格式：

陈洪芳，林虎，殷建杰.数字式测高仪定位误差的测量及补偿[J],机电工程,2011,28(2):141-143.
CHEN Hongfang, LIN Hu, YIN Jianjie.Measurement and compensation method of positioning error in digital height measuring instrument[J],Journal of Mechanical & Electrical Engineering,2011,28(2):141-143.