真空腔体O形圈密封中燕尾槽使用的研究

作者：朱海科1,2，甘志银1,2*，刘宇峰1,2 日期：2011-05-09/span> 浏览：3949 查看PDF文档

真空腔体O形圈密封中燕尾槽使用的研究
朱海科1,2，甘志银1,2*，刘宇峰1,2
（1.华中科技大学 机械制造及自动化系，湖北 武汉 430074; 2.广东昭信半导体装备制造有限公司，广东 佛山 528251）

摘要：为解决在真空腔体中如何利用燕尾槽进行O形圈密封的问题，首先介绍了燕尾槽在金属有机物化学气相沉积（MOCVD）设备研制中的应用，接着介绍了O形圈密封失效的准则，然后利用ANSYS商用软件对不同规格的O形圈及相应的燕尾槽建立了模型，并进行了分析和计算，最后得到了具有较高工程指导价值的结论。研究结果表明，在O形圈密封中，当密封槽采用燕尾槽时，O形圈的压缩率取20%左右，真空腔体的密封性能良好。
关键词：O形圈密封;燕尾槽;有限元;拉伸率;压缩率
中图分类号：TH136;TH123+.4文献标志码：A文章编号：1001-4551(2011)02-0180-04

本文的文献著录格式：

朱海科,甘志银,刘宇峰.真空腔体O形圈密封中燕尾槽使用的研究[J],机电工程,2011,28(2):180-183.
ZHU Haike, GAN Zhiyin, LIU Yufeng.Research of dovetail grooves use in O ring sealing of vacuum cavum[J],Journal of Mechanical & Electrical Engineering,2011,28(2):180-183.