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高精度氮化硅陶瓷球批量加工研磨工艺研究*
作者:林明星1,吕冰海1,袁巨龙 日期:2013-05-02/span> 浏览:3066 查看PDF文档
高精度氮化硅陶瓷球批量加工研磨工艺研究*
林明星1,吕冰海1,袁巨龙1*,邓乾发1,孟玲峰2
(1. 浙江工业大学 特种装备制造与先进加工技术教育部/浙江省重点实验室, 浙江 杭州 310014;
2. 江苏智邦精工科技有限公司, 江苏 常州 213164)
摘要: 为解决高精度氮化硅陶瓷球批量研磨加工的问题,将超精密研磨技术应用到氮化硅陶瓷球的加工实验中。开展了研磨过程的分析,建立了不同研磨阶段陶瓷球球度、表面质量及材料去除率与所选不同大小粒度磨料之间的关系,并提出了对比分析的方法,在通过专业设备检测的基础上对成品球球度、表面粗糙度和振动值进行了评价。研究结果表明,氮化硅陶瓷球能够批量生产且球度达到0.062 μm以下,表面粗糙度达到1.48 nm以下,振动值达到24 dB以下,实现了批量生产G3级氮化硅陶瓷球的目的。
关键词: 氮化硅; 陶瓷球; 高精度; 表面粗糙度; 球度; 研磨工艺
中图分类号: TQ174.5; TH161; TG591 文献标志码:A 文章编号:1001-4551(2013)02-0171-04
本文的文献著录格式:
林明星,吕冰海,袁巨龙,邓乾发,孟玲峰.高精度氮化硅陶瓷球批量加工研磨工艺研究[J].机电工程,2013,30(2):171-174,213.
LIN Ming xing, LV Bing hai, YUAN Ju long, DENG Qian fa, MENG Ling feng.Research on lapping process in mass production for precision Si3N4 ceramic ball[J].Journal of Mechanical & Electrical Engineering,2013,30(2):171-174,213.
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