高精度氮化硅陶瓷球批量加工研磨工艺研究*

作者：林明星1，吕冰海1，袁巨龙 日期：2013-05-02/span> 浏览：3516 查看PDF文档

高精度氮化硅陶瓷球批量加工研磨工艺研究*

林明星1，吕冰海1，袁巨龙1*，邓乾发1，孟玲峰2
（1. 浙江工业大学 特种装备制造与先进加工技术教育部/浙江省重点实验室， 浙江 杭州 310014；
2. 江苏智邦精工科技有限公司， 江苏 常州 213164）

摘要： 为解决高精度氮化硅陶瓷球批量研磨加工的问题，将超精密研磨技术应用到氮化硅陶瓷球的加工实验中。开展了研磨过程的分析，建立了不同研磨阶段陶瓷球球度、表面质量及材料去除率与所选不同大小粒度磨料之间的关系，并提出了对比分析的方法，在通过专业设备检测的基础上对成品球球度、表面粗糙度和振动值进行了评价。研究结果表明，氮化硅陶瓷球能够批量生产且球度达到0.062 μm以下，表面粗糙度达到1.48 nm以下，振动值达到24 dB以下，实现了批量生产G3级氮化硅陶瓷球的目的。
关键词： 氮化硅； 陶瓷球； 高精度； 表面粗糙度； 球度； 研磨工艺
中图分类号： TQ174.5； TH161； TG591      文献标志码：A  文章编号：1001-4551（2013）02-0171-04

本文的文献著录格式：

林明星，吕冰海，袁巨龙，邓乾发，孟玲峰.高精度氮化硅陶瓷球批量加工研磨工艺研究[J].机电工程,2013,30(2):171-174,213.
LIN Ming xing， LV Bing hai， YUAN Ju long， DENG Qian fa， MENG Ling feng.Research on lapping process in mass production for precision Si3N4 ceramic ball[J].Journal of Mechanical & Electrical Engineering,2013,30(2):171-174,213.