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基于PSD的轴系对中测试系统非线性校正方法研究*

作者:李 博,高 艺*,曹国华,柳常清 日期:2013-06-14/span> 浏览:3717 查看PDF文档

基于PSD的轴系对中测试系统非线性校正方法研究*

李  博,高  艺*,曹国华,柳常清
(长春理工大学 机电工程学院, 吉林 长春 130022)

摘要: 针对轴系对中测试系统的核心器件—位置敏感探测器(PSD)存在较大非线性误差、PSD输出坐标不能正确反映入射光点实际位置的问题,为提高对中的测试精度,设计了基于PI微位移平台的在线校定装置,提出了基于BP神经网络的非线性校正算法,进行了数据采集和非线性校正实验,并对采集数据和校正后数据分别进行了Matlab仿真分析。研究结果表明,基于BP神经网络的算法实用高效,采用该算法校正后的PSD线性度误差均低于3.9 μm,极大地减少了非线性的影响,使得B区的线性度和数据置信度得到了大幅改善,在不增加成本和设备复杂度的前提下,有效提高了整个对中系统的精度。
关键词: 二维位置敏感探测器; 非线性校正; 人工神经网络; 微位移平台
中图分类号: TH161+.7; TH86; TP183; TH39      文献标志码:A  文章编号:1001-4551(2013)03-0300-03

 

本文的文献著录格式:

李  博,高  艺*,曹国华,柳常清.基于PSD的轴系对中测试系统非线性校正方法研究[J].机电工程,2013,30(3):300-302,310.
LI Bo,GAO Yi, CAO Guo hua, LIU Chang qing.Research of nonlinear correction method in shafting alignment test system based on PSD[J].Journal of Mechanical & Electrical Engineering,2013,30(3):300-302,310.
 

 

 



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