高频加热线圈台阶对区熔炉磁场的影响*

作者：曹建伟,傅林坚,沈文杰,朱亮 日期：2014-01-23/span> 浏览：2344 查看PDF文档

高频加热线圈台阶对区熔炉磁场的影响*

曹建伟,傅林坚,沈文杰,朱亮,张俊,石刚,欧阳鹏根,叶欣,邱敏秀

(浙江晶盛机电股份有限公司,浙江 上虞 312300)

摘要：区熔法是生长单晶硅的重要方法之一,针对区熔法生长单晶硅过程因多晶硅熔化表面热量不均匀而出现“冷针”的问题,利用有限元法对生长区熔硅单晶进行了数值模拟。区熔法生长单晶硅采用高频感应加热,高频加热线圈是区熔炉最为关键的部件之一,线圈的结构、尺寸直接影响到磁场及焦耳热的分布及熔区形状。基于此，建立了有台阶线圈和无台阶线圈下的两种模型,对比了两种模型下熔区附近磁场分布和焦耳热分布,着重分析了高频加热线圈的台阶对磁场及焦耳热分布的影响。研究结果表明,高频加热线圈的结构会直接影响到熔区附近磁场的分布,进而影响熔区生成的焦耳热分布,线圈台阶可使磁场在熔区附近分布得更均匀,从而有效地解决了“冷针”问题。

关键词：区熔法;线圈台阶;数值模拟

中图分类号：TN30；TM924.5
文献标志码：A文章编号：1001-4551(2013)11-1397-04

本文引用格式：

曹建伟,傅林坚,沈文杰，等.高频加热线圈台阶对区熔炉磁场的影响［J］.机电工程，2013，30（11）：1397-1400.

CAO Jianwei, FU Linjian, SHEN Wenjie, et al. Effects of highfrequency coil step on distribution of magnetic field in floatzone furnace［J］.Journal of Mechanical & Electrical Engineering, 2013,30(11):1397-1400.