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基于运动学原理的三镜支撑设计及支撑位置优化研究*

作者：徐伟，张丽敏*，刘昌华日期：2015-02-12/span> 浏览：3363 查看PDF文档

基于运动学原理的三镜支撑设计及支撑位置优化研究*

徐伟，张丽敏*，刘昌华

（中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130033）

摘要：针对三镜支撑机构需要应对重力影响以及温度变形的问题，对三镜的支撑方法进行了研究，提出了一种基于运动学原理的支撑设计；对支撑点位置进行了优化，通过ANSYS上的优化分析模块，以RMS值为指标，优化出了支撑点的位置；对不同重力方向作用下的三镜面型进行了有限元分析，得到了重力方向与反射镜面型的关系曲线；利用ZYGO干涉仪对支撑前后的三镜面型进行了试验检测，实测重力作用下的RMS值为0.021λ，支撑后仅增大0.002λ。研究结果表明，该支撑方法通过令柔性三点底支撑与中心侧支撑互相解耦，能够减小重力作用或者温度变化时，因变形不协调而产生的集中应力，从而拥有良好的面型。该支撑方法是可靠的，优化出的支撑点位置是可行的。

关键词：运动学原理；三镜支撑；优化分析

中图分类号：TH751 文献标志码：A 文章编号：1001-4551（2014）12-1574-04

本文引用格式：

徐伟，张丽敏，刘昌华. 基于运动学原理的三镜支撑设计及支撑位置优化研究［J］. 机电工程，2014，31（12）：1574-1577.

XV Wei，ZHANG Li-min，LIU Chang-hua. Support design of M3 based on the kinematic method and optimization of the support position［J］. Journal

of Mechanical & Electrical Engineering，2014，31（12）：1574-1577.