《机电工程》杂志,月刊( 详细... )

中国标准连续出版物号 ISSN 1001-4551 CN 33-1088/TH
主办单位浙江省机电集团有限公司
浙江大学
主编陈 晓
副 主 编唐任仲、罗向阳(执行主编)
总 经 理罗向阳
出 版浙江《机电工程》杂志社有限公司
地 址杭州市上城区延安路95号浙江省机电集团大楼二楼211、212室
电话Tel+86-571-87041360、87239525
E-mailmeem_contribute@163.com
国外发行中国国际图书贸易总公司
订阅全国各地邮局   国外代号M3135
国内发行浙江省报刊发行局
邮发代号32-68
广告发布登记证:杭上市管广发G-001号

在线杂志

当前位置: 机电工程 >>在线杂志

水膜吸附夹持方式在蓝宝石抛光中的可行性研究*

作者:陈振华,陈芝向,高涛, 日期:2018-01-11/span> 浏览:2839 查看PDF文档

                                                                       水膜吸附夹持方式在蓝宝石抛光中的可行性研究*
                                                                       陈振华,陈芝向,高涛,袁巨龙*,赵天晨,杭伟
     (1.浙江工业大学 超精密加工研究中心,浙江 杭州 310004;2.中国联合工程公司,浙江 杭州 310052)



摘要:针对目前蓝宝石抛光加工中所使用的石蜡粘贴夹持方式和抛光抛光吸附垫吸附夹持方式在抛光质量和成本等方面所存在的问题,提出了水膜吸附夹持方式,对水膜吸附环境下,吸附表面对蓝宝石晶片的法向吸附力和切向吸附力进行了测量,并分别与抛光吸附垫对蓝宝石晶片的法向吸附力和切向吸附力进行了比较,将切向吸附力作为主要评价指标,判断在蓝宝石晶片抛光加工中使用水膜吸附夹持方式的可行性。实验结果表明:单从吸附能力的层面考虑,在蓝宝石晶片抛光加工中使用水膜吸附夹持方式是可行的;45#钢比玻璃更适合作为吸附表面材料;确定吸附表面的粗糙度时应考虑蓝宝石晶片的表面粗糙度。

关键词:蓝宝石;抛光;夹持方式;水膜吸附夹持

中图分类号:TH16;TG680、692                     文献标志码:A                     文章编号:1001-4551(2017)11-1259-05




本文引用格式:
陈振华,陈芝向,高涛,等.水膜吸附夹持方式在蓝宝石抛光中的可行性研究[J].机电工程,2017,34(11):1259-1263.
CHEN Zhen hua, CHEN Zhi xiang, GAO Tao, et al. Feasibility of water film adsorption positioning in sapphire polishing[J].Journal of Mechanical & Electrical Engineering, 2017,34(11):1259-1263.
《机电工程》杂志:http://www.meem.com.cn



友情链接

浙江机械信息网