MEMS加速度开关的冲击失效仿真分析与试验

作者：丁丽梅，李世中，段荣杰，等 日期：2019-02-22/span> 浏览：2612 查看PDF文档

                                                                    MEMS加速度开关的冲击失效仿真分析与试验
                                                                            丁丽梅，李世中*，段荣杰，杨乐
                                                                   (中北大学 机电工程学院，山西 太原 030051）

摘要：针对微机电系统(MEMS)器件的低可靠性问题，以MEMS加速度开关为研究对象，利用ANSYS有限元分析软件，采用“扭梁-悬臂梁-质量块”结构作为MEMS加速度开关主要作用部分，建立了开关的有限元模型。对MEMS加速度开关3个方向上的跌落冲击情况进行了有限元分析；通过仿真计算分析，得到了器件在冲击载荷作用下的最大量级，分析了导致加速度开关不能作用的主要失效模式；利用马歇特锤击实验平台进行了冲击试验，得到了加速度开关冲击失效的极限量级，证明了MEMS加速度开关的主要失效模式为断裂失效。研究结果表明：针对MEMS加速度开关主要失效模式的仿真分析结果可靠，与试验验证结论相符。

关键词：微机电系统；加速度开关；冲击载荷；失效仿真；锤击试验

中图分类号：TH39；TP391.9                          文献标志码：A                           文章编号：1001-4551(2019)02-0197-04

本文引用格式：
丁丽梅，李世中，段荣杰,等.MEMS加速度开关的冲击失效仿真分析与试验［J］.机电工程，2019，36(2)：197-200.
DING Limei, LI Shizhong, DUAN Rongjie, et al. Impact failure simulation analysis and experiment of MEMS acceleration switches［J］.Journal of Mechanical & Electrical Engineering, 2019,36(2):197-200.
《机电工程》杂志：http://www.meem.com.cn