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MEMS加速度开关的冲击失效仿真分析与试验
作者:丁丽梅,李世中,段荣杰,等 日期:2019-02-22/span> 浏览:2122 查看PDF文档
MEMS加速度开关的冲击失效仿真分析与试验
摘要:针对微机电系统(MEMS)器件的低可靠性问题,以MEMS加速度开关为研究对象,利用ANSYS有限元分析软件,采用“扭梁-悬臂梁-质量块”结构作为MEMS加速度开关主要作用部分,建立了开关的有限元模型。对MEMS加速度开关3个方向上的跌落冲击情况进行了有限元分析;通过仿真计算分析,得到了器件在冲击载荷作用下的最大量级,分析了导致加速度开关不能作用的主要失效模式;利用马歇特锤击实验平台进行了冲击试验,得到了加速度开关冲击失效的极限量级,证明了MEMS加速度开关的主要失效模式为断裂失效。研究结果表明:针对MEMS加速度开关主要失效模式的仿真分析结果可靠,与试验验证结论相符。
关键词:微机电系统;加速度开关;冲击载荷;失效仿真;锤击试验中图分类号:TH39;TP391.9 文献标志码:A 文章编号:1001-4551(2019)02-0197-04
本文引用格式:
丁丽梅,李世中,段荣杰,等.MEMS加速度开关的冲击失效仿真分析与试验[J].机电工程,2019,36(2):197-200.
DING Limei, LI Shizhong, DUAN Rongjie, et al. Impact failure simulation analysis and experiment of MEMS acceleration switches[J].Journal of Mechanical & Electrical Engineering, 2019,36(2):197-200.
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