《机电工程》杂志,月刊( 详细... )
中国标准连续出版物号: ISSN 1001-4551 CN 33-1088/TH
主办单位:浙江省机电集团有限公司
浙江大学
主编:陈 晓
副 主 编:唐任仲、罗向阳(执行主编)
总 经 理:罗向阳
出 版:浙江《机电工程》杂志社有限公司
地 址:杭州市上城区延安路95号浙江省机电集团大楼二楼211、212室
电话Tel:+86-571-87041360、87239525
E-mail:meem_contribute@163.com
国外发行:中国国际图书贸易总公司
订阅:全国各地邮局 国外代号:M3135
国内发行:浙江省报刊发行局
邮发代号:32-68
广告发布登记证:杭上市管广发G-001号
在线杂志 |
当前位置: 机电工程 >>在线杂志 |
图像测量显微镜数控二维载物台的设计
作者:苏进,夏豪杰,敖银辉 日期:2019-09-26/span> 浏览:2001 查看PDF文档
图像测量显微镜数控二维载物台的设计*
摘要:针对数字显微镜大幅面图像拼接中图像扫描的问题,设计了用于显微镜图像拼接的数控二维载物台机械结构与控制系统。通过采用二维堆叠式共面结构减少了阿贝误差,提高了系统集成度,同时结合有限元分析方法,对机械结构进行了分析;基于单片机设计了基于高精度光栅尺反馈与PID精密运动控制结合的二维数控平台的闭环位移控制系统,实现了二维移动平台X/Y方向的运动控制;采用双频激光干涉仪对所设计的数控二维载物台进行了标定,建立了运动控制误差补偿模型,提高了系统运动精度。研究结果表明:该结构在10 kg负载下形变为0.229 5 μm;经补偿后,在100 mm×100 mm的行程范围内重复定位精度小于±5 μm。
关键词:显微镜 ; 二维平台;运动控制;误差补偿中图分类号:TH742;TH39;TN16 文献标志码:A 文章编号:1001-4551(2019)09-0944-05
本文引用格式:
苏进,夏豪杰,敖银辉.图像测量显微镜数控二维载物台的设计[J].机电工程,2019,36(9):944-948.
SU Jin,XIA Haojie,AO Yinhui. Twodimensional numerical control system of stage for image measuring microscope[J].Journal of Mechanical & Electrical Engineering, 2019,36(9):944-948.
《机电工程》杂志:http://www.meem.com.cn
友情链接