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高精度角分度转台设计及其误差修正研究

作者：李忠明,李俊霖,韩冰,等. 日期：2021-11-23/span> 浏览：1762 查看PDF文档

高精度角分度转台设计及其误差修正研究*

李忠明1,2,李俊霖1,韩冰1,唐延甫1,杨永强1,2

(1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春 130033;2.中国科学院大学,北京 100049)

摘要:高精度转台在诸多领域有着广泛的应用,为了提高其转台角分度精度,提出了一种高精度角分度转台及其误差修正方法。首先,介绍了转台的结构设计,转台采用了蜗轮蜗杆传动、圆光栅测角的形式,轴承采用了交叉滚柱轴环,圆光栅采用了增量式,对转台的载物台面进行了力学仿真分析,考察了转台的静力学性能及模态特征;然后,利用多齿分度台和自准直仪对转台的测角精度进行了标定,根据标定获得的误差分布规律,采用基于查表的方法进行了误差补偿,对于整度数之间无标定数据的部分,采用线性插值的方法获得了误差修正量,从而建立了完整的0~360°范围内的误差修正量数表;最后,分别利用多齿分度台和十七面体对误差修正效果进行了实验验证。研究结果表明:利用该方法进行误差补偿,测角最大误差由32.12″降低到1.95″;同时,查表法有效修正了测角误差,使转台可以满足实际场合的使用要求。

关键词:高精度转台;测角精度标定;圆光栅;误差修正

中图分类号:TH712文献标识码:A文章编号:1001-4551(2021)09-1180-05

李忠明,李俊霖,韩冰,等.高精度角分度转台设计及其误差修正研究［J］.机电工程,2021,38(9):1180-1184.