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基于PMAC控制器的纳米定位系统接口电路
作者:王 强,陆林海 日期:2007-04-10/span> 浏览:3763 查看PDF文档
基于PMAC控制器的纳米定位系统接口电路
王 强,陆林海
(上海大学 机电工程与自动化学院,上海 200072)
摘 要:研究了基于可编程多轴控制器运动控制卡的宏微两级精密定位控制系统,介绍了如何通过该控制卡的电路设计以达到对工作台的纳米级定位,并由实验验证了系统的可靠性。研究表明,该系统工作台的定位精度高。
关键词:〖HTK〗纳米定位;电路设计;可编程多轴控制器
Nano—positioning systems interface circuit based on PMAC
WANG Qiang, LU Linhai
(College of Mechatronics Engineering and Automation, Shanghai University, Shanghai 200072, China)
Abstract: A precise macro/micro dual positioning controller system based on programmable multiaxes controller(PMAC) was researched. How to achieve nanopositioning with circuit designing of PMAC was introduced. Experiments showes that the positioning precision of working table is reliable, and positioning precision of working table is high.
Key words: nano—positioning; circuit designing; programmable multiaxes controller(PMAC)
参考文献:
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[3]贾宏光,吴一辉,于振雷,等.压电驱动微位移工作台动态特性分析[J].光学精密工程,2000,8(5):440-443.
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