超磁致伸缩二维精密工作台研究

作者：宋文杰 日期：2007-04-10/span> 浏览：4214 查看PDF文档

                                                              超磁致伸缩二维精密工作台研究
                                                                        宋文杰
                                       （杭州电子科技大学 机电工程学院，浙江 杭州 310018）

摘 要：在超磁致伸缩驱动器的基础上，以柔性铰链机构作为传动部件,设计了创新结构的二维精密工作台。应用ANSYS软件对所设计的柔性铰链机构进行了应力和位移分析。设计了闭环控制系统来控制工作台的输出精密和响应速度。经分析，X和Y方向的最大位移量可达0.2 mm。
关键词：超磁致伸缩驱动器；柔性铰链；ANSYS；PID控制器

                                              Research of a magnetostrictive XY stage
                                                             SONG Wen-jie
(College of Mechanical and Electrical Engineering,Hangzhou Dianzi University, Hangzhou 310018, China)

Abstract: Accurate displacement output of a xy stage was achieved by employing two magnetostrictive actuators associated with flexurehinge based displacement amplifiers. The static analysis of the flexurehinge was undertaken through finite element analysis. A control system based on a PID feedback controller was then formulated, for achieving accurate positioning of the xy stage. From the analysis result, the max displacement output of the both direction can reach 0.2 mm.
Key words: magnetostrictive actuator; flexurehinge; ANSYS; PID controller

参考文献：
［1］黄 敏.超磁致伸缩应用器件研究与模块化设计［D］.杭州：杭州电子科技大学，2005.
［2］邬义杰,刘楚辉.超磁致伸缩驱动器设计方法的研究［J］.浙江大学学报,2004,38(6)：747-750.
［3］李翠红,孟永钢,田 煜，等.基于超磁致伸缩和压电陶瓷的XY超精密定位工作台［J］.纳米技术与精密工程.2005,3(4):257-261.
［4］邬义杰.超磁致伸缩材料发展及其应用现状研究［J］.机电工程，2004，21（4）：55-59.